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    本发明涉及氮化硅膜蚀刻组合物，利用其的氮化硅膜的蚀刻方法及半导体元件的制造方法。背景技术：氧化硅氧化硅膜(sio2)及氮化硅膜(sinx)是用于半导体制造工序的**性绝缘膜。其中，氮化硅膜用于半导体设备中的盖层、间隔层或硬膜层。单独使用氧化硅膜及氮化硅膜，或者交替地层叠一层以上的氧化硅膜和一层以上的氮化硅膜来使用。氮化硅膜的蚀刻在160℃左右的高温下使用高纯度的磷酸和去离子水的混合物来进行。但是，由于高纯度的磷酸对氧化硅膜的氮化硅膜的蚀刻选择比下降，因此存在难以应用于氮化硅膜与氧化硅膜的层叠结构的问题。并且，包含磷酸的氮化硅膜蚀刻组合物在高温下因持续性地蒸发水分而浓缩，从而影响氮化膜和氧化膜的蚀刻率，因此必须持续供应纯水(去离子水(deionizedwater))。但是，即使供应的纯水的量发生微小变化，也可导致去除氮化硅膜时的缺点，磷酸本身作为强酸具有腐蚀性，因此存在难以处理的问题。为了解决上述问题并提高对氧化硅膜的氮化硅膜的蚀刻选择比，可使用将硅酸溶解于磷酸的氮化硅膜蚀刻组合物。但是，由于上述氮化硅膜蚀刻组合物在进行蚀刻时产生析出物，且反而氧化硅膜的厚度增加的异常生长(anomalousgrowth)问题，存在难以应用于工序的问题。菏泽批发压花铝箔厂家。高级山东鸣展包装材料有限公司订制价格

    为了实现附有氧化铝膜的壳体与盖帽之间的软接触，避免两硬质物体间的磨蹭，预先将盖帽的封口接触部位涂敷100μm左右锂离子电池密封胶。技术实现要素：本**公布了一种基于原位生成法制备硬质氧化铝膜在锂电池壳体绝缘密封中的应用。以原位生成法，先后在在铝质电池壳体表面生成了两层致密的氧化铝膜，并且此膜在壳体表面附着力强，不易脱落。在电池封口过程中，经此方法处理过的电池壳体能够以极大的强度与盖帽直接抱为一体，避免了绝缘胶圈的使用。原位生成的氧化铝膜介于壳体与盖帽之间充当绝缘层，相比于传统封口方式，本**中铝壳体与盖帽之间距离缩短为*一百多微米，**节省了电池内部空间，有利于提高电池能量密度，而且由于氧化铝层质地坚硬，可以保证电池封口的**度，有利于提高电池的长期稳定性。在本**实施过程中，为了实现氧化铝膜壳体与盖帽之间的软接触，避免两硬质物体间的磨蹭造成接触面间的划伤，预先将盖帽的封口接触部位涂敷100μm左右锂离子电池密封胶。具体实施方式本发明采用以下技术方案在锂电池壳体上基于原位生成法制备硬质氧化铝膜，步骤如下。（1）对铝质电池壳体的待加工部位进行预处理，处理流程包括。高级山东鸣展包装材料有限公司订制价格济南批发压花铝箔厂家。

    迄今包装铝箔*占药品包装材料的20％，近几年药箔市场迅猛发展，一方面是医药市场发展较快，但主要是因为20％铝箔在药品包装中的应用比例不断提高。三、汽车用复合铝箔包装随着我国汽车工业的蓬bo发展和汽车铝化率的不断提高，汽车用铝箔包装的市场需求量快速增加，汽车用铝箔包装有两种，一种是汽车空调器用复合铝箔包装，中国的汽车空调器已经全铝化，对铝箔包装袋年需求量达；另一种是汽车散热器用复合铝箔包装，用于制造汽车水箱散热器、汽车冷凝器和蒸发器，目前汽车水箱铝化率达到40％，年需求量为四、电解电容器用铝箔包装解电容器所用铝箔包装是一种在极性条件下工作的腐蚀材料，对铝箔袋的**结构有较高的要求，所用铝箔袋分为三种：阴极铝箔，厚度为～；高压铝箔，厚度为～，要求铝箔用高纯铝生产；低压铝箔，厚度为～。国内电解电容器铝箔的生产厂家较少，主要是市场需求不大，且生产技术与先进国有较大差距。但铝质电解电容器性能好，价格低，用途大，所以市场前景很好。目前日本的年需求量为，是中国市场的6倍。随着电子行业的发展以及中国成为主要的工业生产基地，电解电容器铝箔包装袋的市场需求前景广阔。

    汽车灯具主要分为前灯、雾灯、尾灯和其他装饰灯，如图1所示。汽车前灯起到夜间行车道路的照明和车辆示宽作用，需要镀铝的零件主要是反射镜及其反射视圈和装饰视圈。雾灯是在雨、雾、雪等能见度低的天气状况下打开，对前后的车辆起警示作用。其镀铝零件主要是反射镜；汽车尾灯包括转向灯、刹车灯、后雾灯、倒车灯等，起到告诫后面行车信号的作用，镀铝零件主要是灯体。灯具镀铝件基材以PC(聚碳酸酯)、ABS(丙烯腈–丁二烯–苯乙烯)、改性PP(聚丙烯)、ABS+PC和PBT(聚对苯二甲酸丁二醇酯)等为主。前灯内的反射镜、视圈、装饰镜等承受较高的灯光温度，通常采用PC，其长期使用温度一般可达130°C。现有车灯应用的热光源，在工作状态下产生的热量能在较窄空间里产生近200°C的高温，并通过热对流以辐射、传导方式散热，因此要求PC塑料件必须能够经受160°C的长期高温考验。灯具中需用耐热温度可高达185°C以上的高温PC材料。拜耳材料科技有限公司的共聚聚碳酸酯Apec?(PC-HT)为高耐热稳定性材料，是基于双酚A(形成聚碳酸酯的连续相)与双酚TMC(三甲基环己烷双酚)生产的聚碳酸酯，其耐热温度为165~185°C，个别型号可耐热温度接近200°C。灯具中。菏泽做纳米彩钢铝膜比较好的厂家。

    上述氮化硅膜蚀刻组合物通过***的稳定性，即使在半导体制造工序的高温下也可以获得稳定的效果。并且，尽管多次使用上述组合物，对氮化硅膜的蚀刻速度变化率也低，因此工序效率良好。作为一例，在上述氮化硅膜蚀刻组合物中，在上述硅化合物的含量为1重量百分比的情况下，根据处理参数的增加，上述氮化硅膜的蚀刻速度减少率(△erdsinx)具体地可以为0％至％，更具体地可以为％至％。作为一例，在上述氮化硅膜蚀刻组合物中，在上述硅化合物的含量为1重量百分比的情况下，根据处理参数的增加，上述氧化硅膜的蚀刻速度减少率(△erdsio2)具体地可以为0％至％，更具体地可以为0％至％，相当有体地可以为0％至％。以下，对利用本发明的氮化硅膜蚀刻组合物的方法进行说明。根据本发明一实施例的方法的一实施方式可以是相对于氧化硅膜选择性地蚀刻氮化硅膜的方法。另一实施方式可以是半导体元件的制造方法，包括选择性地蚀刻氮化硅膜的蚀刻工序。上述氮化硅膜可以是各种氮化硅膜，如sin膜、sion膜及掺杂的sin膜(dopedsinlayer)等。作为包括这种氮化硅膜的概念，作为具体的一例，上述氮化硅膜可以是指在形成栅电极时主要用作绝缘膜的膜质。徐州批发铝塑复合膜生产厂家。高级山东鸣展包装材料有限公司订制价格

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    真空食品包装的主要作用除真空包装所具备的除氧保质功能外，主要还有抗压、阻气、保鲜等作用，能更有效地使食品长期保持原有的色、香、味、形及营养价值。什么是风琴袋袋？平口袋的两侧边缘往袋体内面折入形成，将原本开口呈椭圆形的袋子折成开口呈矩形，折叠过后，袋子两侧的边边犹如风口叶子，但又是封闭的，这就是风琴袋风琴袋：大家现在都已经知道风琴胶袋是有平口袋改款过来的，也就是说在保证容量的情况下，改变了款式造型，所以风琴胶袋的好处就是：减少了占地空间。风琴胶袋的好处不止这一个，平口袋通过改版，上述说：将原本打开呈椭圆形的袋子开口改为呈矩形形状，也就是饱和装满，是接近一个长方体的形状，那么这就是风琴胶袋的第二个好处了：包装美观。那第三个好处，就是保留了平口袋原有的好处：可以印刷，而且印刷内容要远比平口袋丰富，可以将风琴胶袋的袋体染成红色、蓝色、黑色、绿色、黄色等等，再在其上面加印各种精美的图案，比如：彩图、明片、公司名字、公司Logo、公司地址电话、主营产品等等，都可以印上去，更可以在风琴胶袋的开口处打一个手提孔，这样风琴手提袋就形成了！高级山东鸣展包装材料有限公司订制价格

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