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    本发明涉及氮化硅膜蚀刻组合物，利用其的氮化硅膜的蚀刻方法及半导体元件的制造方法。背景技术：氧化硅氧化硅膜(sio2)及氮化硅膜(sinx)是用于半导体制造工序的**性绝缘膜。其中，氮化硅膜用于半导体设备中的盖层、间隔层或硬膜层。单独使用氧化硅膜及氮化硅膜，或者交替地层叠一层以上的氧化硅膜和一层以上的氮化硅膜来使用。氮化硅膜的蚀刻在160℃左右的高温下使用高纯度的磷酸和去离子水的混合物来进行。但是，由于高纯度的磷酸对氧化硅膜的氮化硅膜的蚀刻选择比下降，因此存在难以应用于氮化硅膜与氧化硅膜的层叠结构的问题。并且，包含磷酸的氮化硅膜蚀刻组合物在高温下因持续性地蒸发水分而浓缩，从而影响氮化膜和氧化膜的蚀刻率，因此必须持续供应纯水(去离子水(deionizedwater))。但是，即使供应的纯水的量发生微小变化，也可导致去除氮化硅膜时的缺点，磷酸本身作为强酸具有腐蚀性，因此存在难以处理的问题。为了解决上述问题并提高对氧化硅膜的氮化硅膜的蚀刻选择比，可使用将硅酸溶解于磷酸的氮化硅膜蚀刻组合物。但是，由于上述氮化硅膜蚀刻组合物在进行蚀刻时产生析出物，且反而氧化硅膜的厚度增加的异常生长(anomalousgrowth)问题，存在难以应用于工序的问题。徐州批发铝塑复合膜生产厂家。可调山东鸣展包装材料有限公司质量服务

    主要包括彩盒、纸箱、说明书、不干胶贴纸、缓冲材等众多品种。1、全球纸质印刷包装行业的发展状况（1）纸质包装是应用*****的包装形式之一按包装材料分，包装产品主要分为纸质包装、塑料包装、金属包装等。主要包装产品的上、下游市场及产品类型如下：纸质包装具有原料来源***、占产品成本比重较低、便于物流搬运、易于储存和回收等诸多优势，随着生产工艺和技术水平的不断提高，纸质包装产品已经可以部分取代木器包装、塑料包装、玻璃包装、铝材包装、钢材包装、铁皮包装等多种包装形式，应用范围越来越广。由于纸质包装可再生利用，绿色环保，可较好地提高经济效益，是市场经济的理想选择，也是循环经济的发展方向。纸质包装是世界上用量比较大的包装材料，其产值呈逐年稳定增长的态势，根据ResearchandMarkets的统计，2014年全球纸质包装产值达到了2,150亿美元，并将保持年均6%的增长。2020年，全球纸质包装产值预计将达到3,050亿美元。（2）国际**印刷包装企业均采用包装整体解决方案服务模式受市场全球化、行业分工专业化、供应链价值优化等趋势的影响，纸质印刷包装行业广大的下游客户，特别是处于**地位的**企业。济宁***山东鸣展包装材料有限公司定陶批发铝塑复合膜生产厂家。

    本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种高硬度低吸收si3n4薄膜的制备方法。背景技术：随着红外技术的高速发展，红外制导武器的服役环境日益苛刻。红外窗口是红外热成像探测系统中的关键部件，位于红外成像系统的**前端。它是重要的结构/功能一体化部件，又是抗高速条件下的热力学冲击的薄弱环节。国外早在四十年代就开始了增透保护膜的研究和相关试验验证，但直到八十年代初国外才实现类金刚石保护膜(dlc膜)的沉积，试验表明保护膜对窗口表面的侵蚀耐受程度具有明显的提升。但dlc膜存在一定的吸收，在增透保护薄膜方面应用还存在一定的问题。而由于作无定形态的si3n4是一种重要的结构材料，它具有硬度高、弹性模量大，本身具有润滑性，表面摩擦系数小、耐磨损等特点，所以常被用作耐磨材料。同时它还具有耐高温、热膨胀系数小、导热系数大、抗热震性好，以及耐腐蚀、抗氧化等优点。所以si3n4薄膜在硬质保护薄膜方面具有很大的应用前景。目前，制作氮化硅薄膜可以用化学气相沉积(cvd)、物***相沉积(pvd)、离子束增强沉积(ibed)、电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术(ecr-pecvd)以及射频和微波的等离子化学气相沉积(rf-pcvd和mw-pcvd)等。

    过完了元旦，2016年“除夕”也越来越近。对于这个节日，我们看得尤为重要，不仅*是因为它历史悠久，更是因为它对于“新年”的算法和描述更为准确。新年的算法中，世界上公认的有三种：一种是以地球绕太阳一周为一年，这是公元纪年法。一种是以月亮绕地球一周为一月，十二个月为一年，阿拉伯世界就是这样。还有一种就是中国的纪年法，我们古代以地球绕太阳一周为一年，以月亮绕地球一周为一月，但是这样就会有几天的误差，所以中国人在19年里增加7个闰年，闰年就是加一个月。除夕是一年历法结束，新一年历法开始计算的时间这样肯定就有时间上的偏差，所以不会是***，每年都有变化。这么说来，对于除夕这个节日，你是不是又多了一股自豪？在除夕前后七天的时间里，也是一年中走亲串友的好机会，而送茶礼则是我国的一种传统。自古中国人爱喝茶，不论是大人小孩都喜欢。喝茶是中国人的一种传统文化，在办公室，跟客户们喝喝茶，谈谈生意；在家里，接待客人，也不忘泡个好茶，聊聊天。中国人喝茶，对茶叶也是很讲究的。茶叶其实是来源于茶树，一般茶树在长江以南一带种植，到了收成的时候，人们就会把茶树的叶子和芽摘掉，然后经过反复干炒、晒干才能拿去卖。一般茶叶炒好了。河南批发纳米彩钢铝膜生产厂家。

    本发明的蚀刻方法具有***析出物的产生并有效地保护氧化硅膜的***效果，因此可确保工序的稳定性及可靠性。以下，基于实施例及比较例进一步详细说明本发明。但是，下述实施例及比较例*是用于更详细地说明本发明的一个例示，本发明并不限定于下述实施例及比较例。除非在本发明中另有说明，否则温度均以摄氏度(℃)为单位，除非另有说明，否则组合物的使用量以重量百分比为单位。评价方法1)蚀刻速度测定具体地，通过化学气相蒸镀法以半导体制造工序相同的方式进行蒸镀来分别准备氮化硅膜(sin膜)晶片及氧化硅膜晶片。上述氧化硅膜晶片为热氧化(thermaloxide)(厚度为)膜和低压四乙氧基硅烷(lp-teos)(厚度为)膜。利用作为薄膜厚度测定设备的椭偏仪(ellipsometer，，m-2000u)测定了组合物蚀刻前的厚度。分别向在石英材质的浴(bath)中保持157℃的蚀刻温度的下述实施例及比较例的组合物钟中浸渍晶片10分钟来进行了蚀刻工序。在完成蚀刻之后，用超纯水清洗，然后利用干燥装置完全干燥残留的蚀刻液和水分，从而测定蚀刻速度。通过利用椭偏仪将蚀刻前的厚度与蚀刻后的厚度差除以蚀刻时间(分钟)来计算蚀刻速度。2)蚀刻速度减少率测定通过上述蚀刻速度测定方法测定组合物的氮化膜蚀刻速度。承德生产纳米彩钢铝膜厂家。德州通用山东鸣展包装材料有限公司

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    使消费者产生良好信誉感。5、***能源消耗、环境保护等方面具有明显比较优势。软包装对天然材料的使用较少，包装材料与内装物的重量比很小，包装物体积与内装物体积之比也较小。所以说，从资源消耗的品种和数量上说，软包装具有其他包装形式无可比拟的优点。由于材料轻软、易折叠、易捆包，软性包装废弃材料的回收处理运输相当方便，废料处理方法较多，根据废弃材料的性质不同可分别采取填埋、焚烧、分解、再生等方法。铝箔袋和镀铝袋的区别是什么？一，铝箔袋分为纯铝袋和镀铝袋二，铝箔袋包装通常指的是铝塑复合真空包装袋，此类产品适用于大型精密机械设备、化学原料、医药中间体的防潮、避光、真空包装。多采用三层或四层结构，具有良好的隔水、隔氧功能。不受限制，可以量体定做不同规格、样式的包装袋，可制成平口袋、立体袋、风琴袋、拉链袋等多种样式。产品需经GB及ASTM标准检测，产品符合环保方面的要求（可提供第三方检测报告），产品符合欧盟及北美对包装材料**严格的环保标准。三，从材料上说，纯铝袋是纯铝，纯度高，属软性材料；镀铝袋掺有复合材料，是脆性材料。四、从成本上说，纯铝袋的价格比镀铝袋的价格要高。三、从性能上说。可调山东鸣展包装材料有限公司质量服务

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