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快速退火炉的作用是什么?

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司2024-05-09

消除缺陷,改善性能:快速退火炉利用卤素红外灯作为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或其他材料快速加热到300℃-1250℃,从而消除材料内部的一些缺陷,改善产品的性能。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
简介:晟鼎精密主营产品RTP快速退火炉、等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量等表面性能处理及检测设备。
简介: 晟鼎精密主营产品RTP快速退火炉、等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量等表面性能处理及检测设备。
退火炉+等离子
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其余 2 条回答

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    东莞市晟鼎精密仪器有限公司 2024-05-10

    精确控温,均匀加热:快速退火炉采用先进的微电脑控制系统,通过PID闭环控制温度,可以达到极高的控温精度和温度均匀性。这种准确的温度控制对于提升产品的质量和性能至关重要。

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    东莞市晟鼎精密仪器有限公司 2024-05-13

    广泛应用,适应性强:快速退火炉广泛应用于IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产,以及欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中。此外,它还可以用于金属材料、玻璃材料、陶瓷材料和高分子材料等多种材料的退火处理,具有较大的适应性和灵活性。

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